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微细加工技术杂志
  • 杂志名称:微细加工技术
  • 期刊级别:国家级
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主管单位:信息产业部
  • 国内刊号:CN 43-1140/TN
  • 国际刊号:ISSN 1003-8213
  • 发表周期:双月刊
  • 邮发代号:

往期文章

用于非球面测试的位相型计算全息图制作
射频磁控共溅射高温NH_3退火制备CuO/SiO_2复合薄膜的微观结构
高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征
陶瓷釉用TiO_2光催化剂的制备研究
共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球
Zn~(2+)和PO_4~(3-)复合掺杂α-Ni(OH)_2的结构及电化学性能
微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动
锂离子电池正极材料LiNi_(0.4)Co_(0.2)Mn_(0.4)O_2的合成及电化学性能
染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备
碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析
X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器
高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作
Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应
Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响
低相位噪声毫米波平面振荡器研究
MOCVD侧向外延生长GaN的研究
大角度离子注入机控制系统软件设计
聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究
SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究

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杂志创刊时间:1998年
杂志社地址:湖南省长沙市
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